机译:皮秒和纳米尺度等压力光刻工艺耦合电磁和热模型
机译:耦合电磁热和动力学建模,使用3D FEM对具有温度和固化依赖介电常数的聚合物进行微波处理
机译:使用3D FEM对具有温度和固化依赖介电常数的聚合物进行微波处理的电磁热力学和动力学耦合模型
机译:皮秒和纳米尺度等离子体光刻工艺的耦合电磁和热模型
机译:等离子体波光刻工艺的电磁波模型,相场模型和热传递模型耦合建模与仿真。
机译:10以下使用热敏硅的纳米特征尺寸扫描探针光刻
机译:1纳米级微处理器的功率,热学和可靠性建模
机译:用于先进制造的纳米级热处理(YIp'96)