SU-8; micro-fabrication; molding process; MEMS;
机译:SU-8抗蚀剂双面微结构化的微成型
机译:高附着力SU-8结构的后互补金属氧化物半导体形成工艺,可可靠地制造集成微机电系统传感器
机译:微机电系统中集成在印刷电路板上的独立SU-8微结构的制造过程的表征
机译:采用新的微成型工艺制造基于SU-8抗蚀剂的双面微结构机械传感器
机译:加工对硅基底上的镍-锆氧化物金属陶瓷膜的微观结构,渗透和电阻传感器特性的影响。
机译:基于精密微接地模芯的微注射成型微结构化聚合物的制备
机译:微机电系统中集成在印刷电路板上的独立SU-8微结构的制造过程的表征