...
机译:高附着力SU-8结构的后互补金属氧化物半导体形成工艺,可可靠地制造集成微机电系统传感器
Department of Intelligent Mechanical System, Engineering Department, Kagawa University, Takamatsu 761-0396, Kagawa, Japan;
Department of Intelligent Mechanical System, Engineering Department, Kagawa University, Takamatsu 761-0396, Kagawa, Japan;
Department of Intelligent Mechanical System, Engineering Department, Kagawa University, Takamatsu 761-0396, Kagawa, Japan;
Department of Intelligent Mechanical System, Engineering Department, Kagawa University, Takamatsu 761-0396, Kagawa, Japan;
Department of Intelligent Mechanical System, Engineering Department, Kagawa University, Takamatsu 761-0396, Kagawa, Japan;
机译:具有金属氧化物半导体/微机电系统工艺的场效应晶体管型压力传感器的制造与表征
机译:微机电系统中集成在印刷电路板上的独立SU-8微结构的制造过程的表征
机译:微机电系统中集成在印刷电路板上的独立SU-8微结构的制造过程的表征
机译:采用新的微成型工艺制造基于SU-8抗蚀剂的双面微结构机械传感器
机译:集成高纵横比金属氧化物纳米结构半导体气体传感器的低温制造工艺。
机译:耐火材料的平滑花纹结构的制作通过模板剥离的金属半导体和氧化物
机译:微机电系统中集成在印刷电路板上的独立SU-8微结构的制造过程的表征
机译:利用mOsIs(金属氧化物半导体实现系统)的CmOs模拟集成结构的特性。