机译:在波长相干散射显微镜上使用高次谐波进行EUV掩模检查
机译:高阶谐波发生源相干极紫外散射显微镜的研制,用于极紫外掩模的检测和计量
机译:利用飞秒激光产生高次谐波的EUV掩模检查系统的开发
机译:使用相干EUV散射显微镜开发用于EUVL掩模检查的高度空间相干的13.5 nm高阶谐波
机译:来自高次谐波生成的相干EUV光:无透镜衍射成像的增强和应用。
机译:通过腔内高阶谐波生成开设新的多端口XUV来源的新路线
机译:EUV-散射仪和有限元分析的EUV掩模计量
机译:EUV掩模检查显微镜的估算成本。 aIm设计研究报告4