MEMS; inclinometer; resonator;
机译:基于MEMS加速度计的倾角系的改进校准技术
机译:基于MEMS加速度计的冗余配置,使用倾斜计倾斜测量
机译:使用基于MEMS的原位倾角计-加速度计阵列评估软土场固结
机译:基于2轴倾角计的高精度石英晶体MEMS加速度计
机译:基于MEMS的就地测斜仪-加速度计阵列的开发,用于监测和评估岩土系统。
机译:基于MEMS加速度计的倾角仪的改进校准技术
机译:基于石英mEms的振动梁加速度计的倒装芯片键合
机译:基于mEms的现场倾角仪在寒冷地区的评估。