Surface morphology; Morphology; Compounds; Potassium; Chemicals; Surface treatment; Slurries;
机译:浆料流速对化学机械平坦化C面(0001)GaN表面材料去除率和地形的影响
机译:抛光参数对使用SiO_2和Al_2O3磨料的C平面(0001)氮化镓表面化学机械平面化的影响
机译:过氧化亚硫酸钾和Oxone作为氧化剂用于硅片的化学机械抛光
机译:基于C面蓝宝石衬底的ZnO掺杂SiO2磨料和化学机械抛光性能的制备
机译:铜化学机械抛光过程中化学溶解与机械磨损之间的协同作用。
机译:通过金属有机化学气相沉积法在c面GaN衬底上生长的富铝AlInN的结构特性
机译:表面改性氧化铝颗粒及其化学机械抛光(CMP)在C平面(0001)蓝宝石底物上的行为