nanoimprint; NIL; template; duplication;
机译:通过缩小干法刻蚀的空间在石英模具中制造亚20纳米宽的凹槽
机译:用于制造纳米压印模板的熔融石英聚焦离子束直接结构化
机译:用于纳米压印光刻的150 nm半间距光栅模板的制作
机译:通过用PDMS模板纳米压印有源层增强倒有机太阳能电池的性能
机译:用于检测氟化氢的石英锯片谐振器的设计,制造和测试。
机译:使用聚焦离子束处理制备包裹在石英模板中的铋纳米线用于霍尔测量
机译:通过使用基于UV的纳米压印光刻在Sub-50nm半间距下的多比特交叉杆电路的制造