階層分析法を用いたRFスパッタリングFePt磁石膜の成膜条件パラメータと膜品質の属人的相関関係の抽出

摘要

近年、熟練技能者の高齢化や若年層の製造業離れなど、複合的な要因が重なり、熟練技能者の経験やノウハウを若年層に維持、伝承していくことが困難な状況になりつつある。本報告では、RFスパッタリングを用いた場合の磁石膜の高品質化に関わる影響項目と成膜条件パラメータとの相互の関係を分析して、階層分析法(Analytic Hierarchy Process:AHP)を用いることで数値化?定量化することで、熟練作業者の経験や考え方の維持および継承に利用できることを紹介する。