MEMS; capacitive sensor; micromirror; projector;
机译:静电梳齿驱动微镜,用于激光束扫描和定位
机译:具有大扫描角度的PZT致动和感应谐振微镜,采用机械杠杆放大技术进行双轴扫描
机译:带有侧壁电极的二维Mems微镜的闭环控制,用于激光扫描显微镜系统
机译:用于2-D扫描MEMS微镜的位置感测和静电驱动电路
机译:带有新型静电角垂直梳状驱动器的MEMS扫描微镜。
机译:具有大扫描角度的PZT致动和感应谐振微镜采用机械杠杆放大技术进行双轴扫描
机译:具有大扫描角的pZT驱动和激活谐振微镜应用机械杠杆放大进行双轴扫描
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计