Diaphragm modeling; Hysteresis; Touch mode device; Unstable diaphragm;
机译:利用柔性SiC圆形膜片的MEMS接触式电容式压力传感器的研究:稳健的设计,理论建模,数值模拟和性能比较*
机译:利用SiC薄膜作为主要传感元件的MEMS双点触摸模式电容式压力传感器的综合评估:数学建模和数值模拟
机译:正常和触摸模式MEMS电容式压力传感器的可靠预制预测:建模和仿真
机译:MEMS触摸模式电容设备中的非线性
机译:开发用于触摸屏应用的电容MEMS力传感器
机译:带有弹簧支撑膜片的MEMS双背板电容麦克风的设计与建模用于移动设备应用
机译:基于SiC-AlN双缺口结构的MEMS全高温触摸模式电容式压力传感器基础研究
机译:mEms电容式悬臂应变传感器,器件和形成方法。