Film bulk acoustic-wave resonator; frequency shift; infrared radiation;
机译:薄膜体声波谐振器(FBAR)的局部质量灵敏度的分析和有限元建模
机译:基于ZnO薄膜的基于体声波谐振器的薄膜相对湿度传感器
机译:用于湿度传感器应用的轮廓模式ZnO基薄膜堆积声波谐振器
机译:基于胶片批量声波谐振器(FBAR)的红外传感器
机译:氧化锌基薄膜体声谐振器的环境传感应用。
机译:带有振荡电路的灵敏度增强型薄膜体声谐振气体传感器及其检测应用
机译:薄膜体声波谐振器(FBAR)的制造,与CMOS技术的异构集成以及传感器应用/
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)