Cobalt Interconnect; resistivity; Copper; integration; barrier; BEOL;
机译:纳米互连工艺中铜阻挡层沉积的集成解决方案
机译:过硫酸钾作为化学机械抛光浆料中的氧化剂,其与钴屏障层的铜互连相关
机译:用于32纳米节点铜/低k互连的高蚀刻选择性阻挡SiC(k <3.5)膜
机译:钴互连在7nm节点的同一铜阻挡层工艺集成上
机译:用于高级IC器件的片上铜/低k互连:材料集成和工艺优化研究。
机译:通过单次运行方法打印的纳米粒子墨水直写过程和无裂纹纳米铜互连中的结构继承
机译:最先进的EUV材料和7nm节点及超越的过程