NIL; template; defect inspection; EBI;
机译:新系统可在22nm以下进行缺陷检查
机译:用于22nm垫片自对准双图案的DUV检查和缺陷来源分析
机译:使用电子束检查检测子设计规则的物理缺陷
机译:高级电子束检测系统的22nm纳米压印模板的程序缺陷研究
机译:压印模板的发展和表面改性,以及分步和快速压印光刻的缺陷分析。
机译:交联剂对分子印迹聚合物中模板络合的影响:与模板聚合物识别行为和NMR光谱研究相关的预聚合混合物事件的计算研究
机译:用电子束缺陷检测系统验证系统缺陷