inspection; computational lithography; reduced basis; model order reduction; optical proximity correction; scatterometry;
机译:径向基函数方法 - 通过利用对称性降低计算费用
机译:快速电磁场计算的降低边界元法
机译:约简方法与ANOVA展开的组合:关于灵敏度指标的计算
机译:减少计算光刻基础方法
机译:基于参数的鞍点问题的高效约简方法
机译:基于图像数据的活动景观定量比较的计算方法
机译:减少计算光刻的基础方法
机译:最小残差混合简化基础法:精确剩余认证和同时有限元简化基础细化。