microfocus EUV source; EUV metrology; EUV reflectomotry; multilayer mirrors;
机译:非破坏性,高分辨率,化学特异性3D纳米结构使用相位敏感的EUV成像反射测量测量
机译:EUV反射仪,用于确定薄膜涂层的厚度和密度
机译:脉冲脉冲反射仪在电站锅炉管高速管堵塞检测中的应用。
机译:借助EUV管实现先进的波长反射法
机译:使用时域声反射法对液体填充管进行指导和监视。
机译:非破坏性高分辨率化学特异性3D纳米结构使用相位敏感的EUV成像反射测量
机译:非破坏性,高分辨率,化学特异性3D纳米结构使用相位敏感的EUV成像反射测量
机译:EUV工程试验台set-2光学系统的波长表征