EUVL; HiNA; contact hole; printability; aerial image; aberration; flare; central obscuration; mask linearity;
机译:极紫外光刻(EUVL)的氧化Si和Ru封盖模型的图案可印刷性的理论研究
机译:使用0.3 NA光学元件在先进光源下具有极高的紫外线光刻能力
机译:具有多个图案化的DSA有效布局分解方法,在接触孔中
机译:使用0.3-NA HiNA光学元件的EUVL中接触孔图案的可印刷性
机译:一种将金属纳米级图案转移到小的非平面表面的新技术:在用于表面增强拉曼散射检测的光纤设备中的应用。
机译:视神经挤压在BALB / cJ小鼠的视网膜和视神经中诱导时空基因表达模式
机译:EUVL掩模空白缺陷对32-NM HP节点的可检测性和可打印性