EUV; carbon contamination; reflectance; out-gassing;
机译:Euv暴露和碳污染导致入射入射Euv镜的反射率降低
机译:等离子体清洗EUV光刻中的多层反射镜,以清除无定形碳污染
机译:激光等离子源,用于极紫外(EUV)光刻激光等离子源,用于极紫外(EUV)光刻
机译:基于同步加速器源的污染实验,在EUV暴露工具上建立碳污染的简单模型
机译:明亮相干超快速桌面光源的开发以及EUV在软X射线吸收光谱学中的应用。
机译:EUV诱导的TiO2上碳的氧化
机译:研究和开发一种EUV设备之间的真空泵化学污染源的研究方法