angular scatterometry; line-width roughness; critical dimension; grating;
机译:线粗糙度对角分辨散射法中衍射强度的影响
机译:纳米CMOS技术中线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)的研究:第一部分–建模和仿真方法
机译:纳米级CMOS技术中线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)的研究:第二部分-实验结果及其对器件可变性的影响
机译:线粗糙度对角分辨散射法中衍射强度的影响
机译:光学角散射测定法:辊2辊和纳米印记制造系统的直线方法
机译:使用完全放松的手风琴3D HNCO实验从峰线宽直接测量蛋白质骨干15N自旋弛豫率
机译:线宽粗糙度对光学散射测量的影响
机译:基于EUV散射测量法测定相粗糙度。