ellipsometry; immersion lithography; imaging ellipsometry;
机译:使用人工神经网络的光致抗蚀剂的椭偏特征
机译:杂交非化学放大抗性含有锑作为吸收增强剂的EUV照相研究(Vol 8,PG 10930,2018)
机译:杂交非化学扩增抗蚀剂含有锑作为吸收增强剂的EUV照相研究
机译:在光电二极管上进行直接抗蚀涂层的EUV抗蚀剂吸收系数测量方法的发展
机译:通过X射线散射进行聚合物和聚合物液晶的结构研究,通过偏振光显微镜进行的热分析和椭偏分析。
机译:单晶SrFeO3-δ的电阻率和电荷密度波特性的热磁滞各向异性:X射线吸收和光发射研究
机译:液体中的光子吸附研究:器件,模型和椭圆偏振方法
机译:光声和光折射检测液体中的小吸收