Petri nets; integrated circuit manufacture; queueing theory; semiconductor device manufacture; digital simulation; semiconductor storage; Petri nets; production process modeling; MASM-LAB; Arizona State University; two-product system; nonvolatile memory;
机译:半导体制造系统的建模,分析,仿真,调度和控制:Petri网方法
机译:半导体制造系统的建模,分析,仿真,调度和控制:一种Petri网方法
机译:使用半导体制造GA的彩色定时Petri-Nets建模和作业调度
机译:采用Petri网的完整半导体制造设施的建模与仿真
机译:基于Petri网的方法,用于柔性制造系统的建模,仿真和控制。
机译:BioNetSim:基于Petri网的建模工具用于模拟生化过程
机译:可重复使用的下一代半导体制造设施的柔性制造建模和仿真