MOCVD coatings; hafnium compounds; silicon compounds; MOSFET; dielectric thin films; CMOS integrated circuits; inversion layers; MOS capacitors; HfSiON gate dielectrics; MOCVD; capacitors; FET; poly-Si gate CMOS process; flatband voltage shift; effective;
机译:通过等离子体氧化和氮化制备HfSiON栅极电介质,针对低功率CMOS应用进行了优化
机译:通过等离子体氧化和氮化制造HFSION栅极电介质,优化了低功率CMOS应用
机译:超薄ALD HfSiON覆盖层在SiON介电材料上针对低功耗应用的Ni-FUSI CMOS技术的应用
机译:CMOS扩展路线图上的栅极电介质完整性,包括多栅极Fet,TiN金属栅极和HfSiON高k栅极电介质
机译:用于硅CMOS应用的高k栅极电介质。
机译:高k和更稳定的稀土氧化物作为先进CMOS器件的栅极电介质的设计
机译:具有HfSiON和TiN金属栅极的纳米级CMOSFET的UHF C-V精确测量的测试结构