technology transfer; innovation; microsystems; microtransducers;
机译:通过多物理场仿真为集成CMOS-MEMS技术设计的电容式CMOS-MEMS传感器
机译:MEMS-CMOS LSI单片集成压力传感器,采用兼容CMOS的“布线MEMS工艺”
机译:基于RF-MEMS的基于RF-MEMS的阻抗网络用于混合式RF-MEMS / CMOS-E Class-E功率放大器
机译:8英寸消费类产品单片CMOS-MEMS制造平台
机译:集成多器件CMOS-MEMS IMU系统和RF MEMS应用。
机译:超越CMOS:III-V器件RF MEMS和其他异种材料/器件与Si CMOS的异构集成以创建智能微系统
机译:MEMS电容式压力传感器采用后CMOS工艺与CMOS读出电路单片集成
机译:集成多器件CmOs-mEms ImU系统和RF mEms应用