机译:2015年5月4日至6日在西班牙巴塞罗那举行的SPIE EUROPE“ MICROTECHNOLOGIES”研讨会上的“智能传感器,执行器和MEMS”,“网络物理系统”以及“生物MEMS和医疗微设备”会议的特刊
机译:基于MEMS的传感器装置的致动和传感机制述评
机译:各种装载对高温和致动器的现场调谐的MEMS悬臂梁性能的影响,用于高温和苛刻环境应用
机译:光纤互连的MEMS传感器和执行器
机译:MEMS致动器 和 传感器单元 力学 和 粘附 的 研究
机译:基于MEMS的传感器装置的致动和传感机制述评
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机译:polymEms执行器:基于聚合物的微机电(mEms)执行器,具有宏观作用