机译:薄膜太阳能电池本征氢化非晶硅的沉积-通过RF-PECVD静态生长和通过VHF-PECVD动态生长的层的比较研究
机译:PECVD非晶硅和PECVD氧化硅用于硅太阳能电池背面钝化的堆叠系统
机译:氢化非晶碳化硅薄膜的RF-PECVD沉积和光学性质
机译:大面积非晶硅的沉积条件
机译:使用ECR-PECVD的氢化非晶硅锗薄膜和器件的高生长速率沉积。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:使用ECR-PECVD的氢化非晶硅锗薄膜和器件的高生长速率沉积
机译:用ECR-pECVD技术高效生长水解非晶硅锗薄膜和器件