60nm DRAM; contact holes; KrF resist; resist flow process;
机译:使用电阻回流工艺的32 nm节点随机接触孔阵列的临界尺寸控制
机译:接触孔图形的抗蚀剂回流工艺仿真研究
机译:富勒烯掺入可增强电子束抗蚀剂的性能,用于接触孔构图和填充
机译:KrF抗蚀剂流工艺在60nm Node DRAM应用中实现接触孔构图性能
机译:热等离子体中的高能过程:对流占主导地位的吸积流在超大质量黑洞周围的应用。
机译:基因流和自然选择塑造树木种群中基因的空间格局:对进化过程和应用的启示
机译:使用KRF激光烧蚀过程抵抗图案化特性
机译:基于数据流的高性能嵌入式处理器分层传感应用实现。