immersion; second generation fluid; third generation fluid; hydrocarbons; refractive index; absorbance; fluid handling; radiation durability; active recycle; window contamination; particle contamination;
机译:超高数值孔径消色差干涉仪,用于193 nm浸没式光刻
机译:高折射率浸没式光刻中的流体-光刻胶相互作用和成像
机译:高折射率浸没液可实现1.17 NA物镜,工作距离为12 mm
机译:具有第二代浸液体的高折射率浸入光刻,使1.55的数值电磁能够实现32纳米半场的成本效益
机译:用于浸没式光刻的水性和有机液体的折射率和吸收率。
机译:放大和水浸技术的窄带成像:一种案例发现经济高效的方法来诊断绒毛萎缩
机译:高指数浸入式液体可实现32纳米半间距的经济高效的单次曝光光刻