Silicon; Electron sources; Cathodes; Micromachining; Current measurement; Fluctuations; Measurement by laser beam;
机译:由激光微机械制造的硅芯片场发射电子源
机译:[110]硅微加工制造的混合集成激光二极管微外镜
机译:使用具有集成碳纳米管(CNT)场发射阴极和低温共烧陶瓷(LTCC)的微机电系统(MEMS)制造的微型电子电离源。
机译:硅基集成场发射电子源,用于传感器应用
机译:用1300nm和1064nm激光源的硅集成电路电光频率调制=用1300nm和1064nm激光的基于硅基集成电路的电光频调制(EOFM)
机译:更正:C.-E. Athanasiou。等。使用飞秒激光制造和操作的用于研究二氧化硅多晶型微力学的整体式微拉伸测试仪。微型机械201561365–1386
机译:FEI肖特基场发射电子显微镜集成硅漂移探测器系统
机译:集成硅光谱仪:使用批量微机械加工技术制造