碳纳米管场发射电子源及其制造方法以及一场发射阵列

摘要

本发明涉及一种碳纳米管场发射电子源，其包括：一导电基体、一碳纳米管和一导电金属层，该导电基体具有一锥形顶部，该碳纳米管一端通过范德华力附着于导电基体顶部的表面，另一端沿该导电基体顶部向外延伸，该导电金属层形成于该碳纳米管表面与该导电基体顶部表面。本发明还涉及上述碳纳米管场发射电子源的制造方法。