Silicon-Germanium epitaxy; With-in-wafer uniformity; defects; yield.;
机译:B掺杂Sige的选择性外延生长和Si的Hcl蚀刻以形成Sige:b凹陷的源极和漏极(pmos晶体管)
机译:高k pMOS器件中用于V_T移位调整的选择性外延Si / SiGe生长
机译:避免负载效应和刻面生长-成功实施HBT-BiCMOS和高迁移率异沟道pMOS器件的选择性外延SiGe沉积的关键参数
机译:纳米级pMOS应变工程上SiGe选择性外延生长制造工艺的物理良率提高
机译:SiGe PMOS器件上的总电离剂量辐射效应和负偏置温度不稳定性
机译:用于22nm体PMOS晶体管的HK和MG集成了源极和漏极中的高应变SiGe
机译:使用毯子SIGEC外延生长设计HBT的内在基础工艺
机译:最近的工艺和设备改进,以提高国防废物处理设施(DWpF)-8366的高水平废物吞吐量