SiGe Epitaxy; pFET; boron; IEFF; performance;
机译:RP-CVD控制高Ge含量的应变Ge / SiGe多层膜外延生长过程中的外延层厚度
机译:通过层间厚度变化对3D框架外延纳米复合薄膜的应变和性能调整
机译:三维框架外延纳米复合薄膜的应变和性能调谐通过层间厚度变化
机译:使用Silvaco软件优化固有层厚度,掺杂层厚度,掺杂层厚度和浓度的A-SiC / A-SiGe多层太阳能电池效率性能
机译:通过热线化学气相沉积在低温下在多晶硅籽晶层上外延生长硅。
机译:调整用于外延生长的高质量种子的多孔硅层的应变和表面粗糙度
机译:调整用于外延生长的高质量种子的多孔硅层的应变和表面粗糙度