MEMS-Scanner; LIDAR; vibration; electrostatic; reliability; trajectory precision; quasi-static;
机译:具有片上电路和光学互连的微机械振动传感器
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机译:气相或液相中共振微悬臂梁(生物)化学传感器的强轴弯曲模式振动的理论分析
机译:用片上压电传感器的LIDAR微镜振动分析
机译:压电微悬臂梁传感器的振动分析
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机译:用于宽带振动分析的硅微机械传感器