CANTILEVER BEAMS; DATA ACQUISITION; FEEDBACK CONTROL; FREQUENCY RESPONSE; METAL OXIDE SEMICONDUCTORS; MICROMACHINING; MICROMINIATURIZED ELECTRONIC DEVICES; RESONANT VIBRATION; SIGNAL PROCESSING; SILICON; COMPUTER PROGRAMS; DYNAMIC STRUCTURAL ANALYSIS; FABRICATION; STRAIN DISTRIBUTION; TELEMETRY;
机译:基于微加工硅微线的热气分析传感器
机译:无线传感器二维宽带振动能量采集器的设计与分析
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机译:用于从振动中获取动力的微机械硅发生器