Resonators; Doping; Resonant frequency; Silicon; Micromechanical devices; Temperature measurement; Temperature sensors;
机译:确定来自MEMS谐振器的简并掺杂硅的掺杂和温度相关的弹性常数
机译:温度补偿的简并n型掺杂硅MEMS谐振器的设计规则
机译:简并掺杂对硅谐振器的温度补偿
机译:硅的横向扩散掺杂,用于MEMS谐振器的温度补偿
机译:由单晶和多晶3C碳化硅薄膜制成的基于MEMS的弯曲模式横向谐振器的能量耗散
机译:温度硅MEMS谐振器频率漂移分析
机译:1从mEms谐振器确定退化掺杂硅的掺杂和温度依赖弹性常数