Gettering; Iron; Silicon; Impurities; Epitaxial growth; Atomic layer deposition; Probes;
机译:三维原子成像揭示碳氢化合物离子注入外延硅晶片的吸杂机理
机译:硼掺杂硅中的铁溶解度和p / p〜+外延晶片中的Fe吸杂机理
机译:高性能多晶硅硅气体探测断层扫描研究
机译:采用原子探测断层扫描碳簇离子植入外延硅晶片的吸收机制
机译:晶体硅的铝吸杂剂可改善少数载流子扩散长度并用于基本扩散机理的研究。
机译:CMOS图像传感器的暗电流光谱法对碳氢化合物分子离子注入的硅晶片进行吸杂设计
机译:使用高分辨率电子显微镜和3D原子探测断层扫描在β钛合金中产生超精制α相微观结构的可能成核机理的研究