Residual stress; Silicon nitride thin films; Micro cantilever Bio sensors;
机译:氮化硅陶瓷球表面残余应力的实验研究
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机译:高能X射线衍射分析氮化硅陶瓷扩散键的应变和残余应力。
机译:压阻硅氮化硅悬臂中残余应力减缓的理论与实验分析
机译:硅上应变工程氮化铝用于高质量铝(x)铟(y)镓(1-x-y)氮化物外延的实验和理论分析。
机译:残余热应力对氮化硅基复合材料力学性能的影响
机译:钎焊钢板氮化硅的三维残余应力分析。
机译:扫描对高强度飞机机翼应力和挠度分布的理论和实验效果第7部分:均匀厚度悬臂系应力和挠度的实验研究