3D integration; trenches; TSV; microinductors; SU-8; MEMS;
机译:二维动态CA方法用于光刻胶刻蚀模拟的改进及其在SU-8光刻胶深紫外光刻模拟中的应用
机译:SU-8光刻胶交联的FTIR光谱研究
机译:超临界CO_2乳剂去除SU-8光刻胶图形的定量研究
机译:用于硅嵌入式微管件深沟槽SU-8光致抗蚀剂的研究
机译:使用掩埋的光刻胶掩模方法制造多层,独立式,SU-8结构
机译:SU-8光刻胶的185 nm扩散光光刻技术原型制作的具有轴突分离的微流体长期梯度发生器
机译:使用厚的光致抗蚀剂SU-8和半透膜进行片上多电极神经细胞培养系统进行长期研究
机译:采用sU-8光刻胶的220-GHz片状光束放大器光栅的UV-LIGa微加工