ultra shallow junction; spike lamp annealing; laser annealing; Scanning Spreading Resistance Microscope;
机译:扫描扩展电阻显微镜(SSRM)2d载流子分析,用于深亚微米技术中的超浅结表征
机译:基于尺寸的四点探针薄层电阻在激光退火超浅结上的测量比较研究
机译:非熔融激光尖峰退火形成超浅结及其在65 nm节点中互补金属氧化物半导体器件中的应用
机译:用扫描扩展显微镜用尖峰灯和激光退火工艺结合退火的局部电阻分析
机译:低电阻触点与用于纳米级MOS器件的激光退火结。
机译:使用表面分析仪和扫描电子显微镜评估ErCr:YSGG激光超声波洁牙机和刮板对根表面轮廓的影响:一项体外研究
机译:激光退火超浅结的尺寸依赖四点探针薄层电阻测量的对比研究