FinFETs; Ions; Doping profiles; Semiconductor process modeling; Arsenic; Implants; Scattering;
机译:掺杂剂谱对散装FinFET随机掺杂波动和优化的影响
机译:基于硅中浅层砷植入物的MEIS分析的超低能量SIMS轮廓的校准校正(会议论文)
机译:基于MEIS分析的超低能SIMS轮廓的校准校正,用于硅中砷浅注入
机译:FinFETS中砷掺杂分布的TRI3DYN建模和MEIS测量
机译:通过扫描探针显微镜对半导体上的二维二维掺杂物轮廓进行定量测量。
机译:随机离散掺杂剂引起的具有固定顶鳍宽度的16nm栅极梯形体FinFET器件的电特性波动
机译:扫描电容显微镜中用于半导体掺杂物分布测量的模型迁移率降低