机译:退火对氢化非晶碳和氢化非晶氮化碳薄膜光学和化学键合性能的影响
机译:氢化非晶氮化碳膜的异丁烷/ N_2脉冲射频磁控等离子体化学气相沉积,用于场发射应用
机译:射频功率对等离子体增强化学气相沉积生长的氢化非晶碳薄膜的热扩散率的影响
机译:射频功率对氢化非晶氮化碳薄膜光学,化学键合和光致发光性能的依赖性
机译:非晶态氢化碳膜的光学性质。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:压力和射频功率对等离子体沉积氢化非晶硅薄膜沉积速率和结构性能的影响
机译:非晶氢化氮化硅薄膜中的光诱导氮悬挂键。