机译:利用多层膜厚掩模制造具有阶梯形轮廓腔的基于MEMS的电容式硅麦克风结构
机译:使用SOI晶片的Z型臂支撑硅振膜的超小型MEMS麦克风的设计与制造
机译:用于紫外可见气隙的MEMS光学滤光片的超薄氮化硅膜的设计和制造
机译:用于MEMS麦克风的硅铂膜的制造
机译:MEMS双背板电容式麦克风的设计,制造和表征。
机译:带有波纹金属膜片和硅背板的CMOS MEMS电容式麦克风的实现
机译:采用sUmmiT V制造工艺开发mEms双背板电容式麦克风的兼容膜。
机译:采用sUmmiT V制造工艺开发mEms双背板电容式麦克风的兼容膜。