Tactile sensors; Sensitivity; Silicon carbide; Force; Piezoresistance;
机译:使用具有不同触觉性能的MEMS的压阻性悬臂开发单芯片弹性传感器
机译:弹性微结构压在压阻悬臂上的高灵敏度三轴触觉传感器
机译:柔性触觉传感器,用于通过转移的亚微米厚的Si压阻悬臂梁来测量剪切应力
机译:用压电悬臂触觉传感器设计机器人应用的新颖设计
机译:具有仿生和机器人应用的全弹性体MEMS触觉传感器的非线性大变形建模
机译:机器人应用的触觉传感器
机译:基于压阻式触觉传感器的设计,建模,制造和测试,可用于微创手术应用