chemical vapor deposition; crystal defects; power semiconductors; silicon epitaxy; slip lines; uniformity;
机译:O_2,N_2流量和沉积时间对通过大气压化学气相沉积(APCVD)沉积的SnO_2薄膜的结构,电学和光学性质的依赖性
机译:PECVD制备的界面Si和SiGe层对PECVD(200℃)和APCVD(1130℃)生长的外延Si膜的影响
机译:通过脉冲激光沉积法沉积的杂质依赖性半导体类型的外延CuFeO_2(111)薄膜
机译:功率半导体APCVD多个外延SI膜沉积
机译:共价半导体外延膜的低温电沉积
机译:通过等离子化学气相沉积高速率和大面积外延硅膜的沉积
机译:磁控溅射从复合靶材上沉积的低氧化学计量外延ZrB2薄膜:沉积温度和溅射功率的影响