microplasma; nano-aperture; nano-scaled maskless patterning; tips array;
机译:具有纳米孔径空心尖端的悬臂阵列的制造,用于平行微等离子体蚀刻
机译:用于无掩模扫描等离子体蚀刻的反应气体中倒置的金字塔形空心阴极微等离子体装置的特性
机译:通过无掩模ECR辅助微波等离子体刻蚀制备高纵横比金刚石纳米针阵列
机译:薄壁倒金字塔中空提示阵列和纳米孔的制造用于无掩模纳米级等离子体图案的纳米孔径
机译:近红外二色性偏振滤光器制备等质子分裂纳米阵列的光刻图案化纳米级电沉积
机译:硅的无掩模倒金字塔形组织化
机译:用于微等离子体蚀刻的纳米孔径空心尖端阵列的制作