3D V-NAND; Raman spectroscopy; channel poly Si; poly Si grain size monitoring; thermal crystallization annealing;
机译:通过缩小多晶硅体厚度和3D NAND闪存的晶粒尺寸研究瞬态电流特性
机译:晶粒尺寸对3D NAND闪存多晶硅通道TFT性能的依赖
机译:BEOL工艺对3D NAND闪存中多晶硅晶界陷阱钝化的影响
机译:3D闪存通道Poly-Si的晶粒尺寸监测使用多波长拉曼光谱法
机译:粒度在磨蚀基岩河道侵蚀中作用的实验研究
机译:在纳米图形衬底的微流体通道:监测蛋白结合到脂双层与表面增强拉曼光谱
机译:多波长微拉曼光谱非接触监测超薄单层和双层Si1-xGex外延膜中Ge含量和B浓度
机译:新鲜和老化TNT与多波长拉曼光谱的比较。