Hydrodynamic effect polishing; Ultrasmooth surface; Surface roughness; Silicon wafer; Fluid dynamic simulation;
机译:羟乙基纤维素浓度对硅抛光后硅片表面质量的影响
机译:使用耦合有限元平滑粒子动力学硅晶片抛光的数值实验研究
机译:悬浮液对硅片的流体动力电化学机械抛光研究
机译:基于盘流体动力抛光的半导体晶片表面超精密抛光过程研究
机译:半导体晶片的化学机械抛光:预测晶片表面形状的表面元素建模和仿真
机译:碳化硅陶瓷振动辅助抛光过程中亚表面损伤和表面质量的分析预测
机译:抛光期间硅晶片边缘表面平坦度的变化