快速刀具伺服系统的精密自抗扰控制

摘要

金刚石超精密车削是加工微结构表面光学元件的有效方法，其关键是高性能快速刀具伺服系统。在加工过程中，快速刀具伺服系统应能克服时变的切削力负载，驱动刀具按照指定的轨迹完成频率高达数千赫兹的高精度跟踪运动。为了解决快速刀具伺服系统的跟踪控制问题，本文根据微结构表面车削时参考轨迹已知的特点，应用自抗扰控制原理和加速度前馈策略，采用状态空间法设计了一个精密自抗扰控制器，并应用于正应力电磁驱动的快速刀具伺服机构。实验结果表明了控制器的有效性。