Efficiency in sealing: A BKM case study

机译：密封效率：BKM案例研究

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This case study describes Microchip's experience with perfluoroelastomers o-ring seals.

机译：本案例研究描述了Microchip在全氟弹性体O形圈密封方面的经验。

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来源
《Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference》|2013年|134-137|共4页
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作者
Vernikovsky Dalia; Ecker Brad; Urbach Seth;
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