Silicon; Etching; Passivation; Standards; Micromechanical devices; Ions; Plasmas;
机译:具有平滑侧壁的超深硅腔的一步式深反应离子刻蚀
机译:硅中电荷载流子的高阳极电压聚焦使高密度和高纵横比的规则排列亚微米孔容易刻蚀
机译:源自PS-PDMS嵌段共聚物图案的高纵横比致密堆积15至10nm以下硅特征的低温等离子体蚀刻
机译:超高纵横比和厚深硅蚀刻(UDRIE)
机译:硅Wankel内燃机的超深反应离子刻蚀
机译:硅中电荷载流子的高阳极电压聚焦使得能够以高密度和高纵横比蚀刻规则排列的亚微米孔
机译:用于超高纵横比FinFET的晶体硅蚀刻