Piezoelectric aluminum nitride resonators; contour mode resonators; thin-film piezoelectric on substrate resonators; RF filters;
机译:用于可切换和可重构射频滤波器的轮廓模式氮化铝谐振器的MEMS切换
机译:面向中频滤波器应用的高品质因数氮化铝兰姆波谐振器的设计与制造
机译:使用氮化铝MEMS谐振器的多灵敏度温度传感器平台
机译:温度和大功率下氮化铝谐振器和滤波器的分析
机译:高Q氮化铝RF MEMS兰姆波谐振器和窄带滤波器
机译:同心分裂铝和氮化硅铝环形环谐振器
机译:用于定时应用的氮化铝 - 硅上温度稳定的谐振器和滤波器。