FIB; SGCCB; graphene; suspended;
机译:通过一步电子束光刻工艺制备高度规则的悬浮石墨烯纳米带
机译:利用FIB电子束双束光刻技术从PMMA制备碳纳米机械谐振器
机译:FIB将纳米孔雕刻成悬浮的石墨烯薄膜
机译:通过FIB切割制造大型悬浮石墨烯夹夹梁
机译:高束通量下聚焦离子束(FIB)材料去除和重新排列的机制。
机译:通过提高精度的电子束光刻覆盖层来制造三维悬浮层间和分层纳米结构
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:用于制造悬挂掩模的使能技术,用于在UHV环境中完成器件制造